1、真空镀膜机配置1, 真空泵(1台)又名;滑阀泵。

2、旋片泵。

3、也叫机械泵。

【资料图】

4、2, 萝滋真空泵(1台)3, 油扩散泵(1台),现在市场上出现分子泵。

5、4, 真空计(1台),5, 带手调压电阀(1台)6, 电炉(1个)7, 脉冲偏压(1台)以前的是直流的。

6、8, 离子源有(6个的,10个,12个,18个)9, 弧源有(6个,10个,12个,18个)10, 真空炉体(1个)11, 低真空阀门有(V1)12, 高真空阀门有(V2,V3,V4)13, V5是放气阀14, 流量计有(4个)15, 流量计控制仪(1个,同时控制4路气体)16, 维持泵(1个,抽油扩散泵的)17, 热电偶(2个。

7、一个是测炉体温度。

8、一个是测油扩散泵温度18, 真空泵前面还有一个电磁阀,是挡油的。

9、19, 有的机器带磁控靶,有时是中频的,有的是射频的,有的叫柱状把,有的叫孪生靶。

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